无尘车间(Clean Room),亦称为无尘室或洁净室、超净室。
指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物去除,
并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电
控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。 亦即是不论外在空气条件如何
变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等性能的特性。
超净间主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的清洁度及温湿度,
使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘车间。 主要
用途是食品、制药、电子领域、化工等。
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